>>854
10万倍はきついな
一応カタログ上はイケることになってるが実際にそこまで装置性能引き出すのは難しいなぁ

他の手法検討するかFE-SEMじゃないと厳しいな
ちなみにただの観察だけか？
EDSで成分分析もしないといけない内容ならもっときついかな
どこまで精度が必要なテーマかわからないが、成分に関してもFE-EPMAで解析した方がええかもしれないな