清の同治帝の治世（1874年以降）に、成都の北郊外の万福橋で陳興盛飯舗を営む陳森富の妻の劉氏が材料の乏しい中、有り合わせの材料で来客（労働者）向けに作ったのが最初とされる。陳劉氏の顔にはあばた（麻点）があったため、「陳麻婆」と呼ばれていたので、彼女が作る名物の豆腐料理も「陳麻婆豆腐」と呼ばれた。

当初の麻婆豆腐は、先に中華鍋で菜種油を熱してから、唐辛子の粉を入れて辛みと香りを出してからオプションの牛肉と豆豉を入れ、豆腐と水少量を入れて混ぜ、蒸らして味を吸わせてから、最後に花椒の粉を加えたという。

清の周詢は『芙蓉話旧録』に「北門の外に陳麻婆という者がおり、豆腐をうまく料理する。豆腐代に調味料と調理代を含めて、ひと碗の値段は八文。酒や飯も合わせて売っており、もし豚肉や牛肉を入れたければ、客が持参するか、代金を払って用意して貰うことも可。店の屋号は知る人が多くないが、陳麻婆と言えば知らない者はいない。そこまで町から4、5里（2キロメートル余り）あるが、食べに行く者は遠くても気にしない」という内容を記している。

後に店の名前も「陳麻婆豆腐店」と呼ばれるようになり、この陳麻婆豆腐店は中華人民共和国成立後に成都市飲食公司所有の国営企業となり、商標となってからは国の許可を得た民間の店舗も成都に存在する。また、成都市飲食公司の認可により近年日本にも店舗を出した。中国大陸では文化大革命以降に「古い因習を打破するため」（破四旧（中国語版））と味の成り立ち（上記の通り唐辛子系の「辣」と花椒系の「麻」の2種類の辛味を用いる為）とから「麻辣豆腐」と改称するように提唱されたこともあるが、現在は「麻婆豆腐」と称する方が一般的である。